特許
J-GLOBAL ID：200903002097467003
液漏れ検査システム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-354450
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099744
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】 液漏れの検出精度を向上でき、かつ、清掃復旧作業を容易にできると共に、絶縁基板の設置の自由度を向上でき、被検査物に悪影響を及ぼすことなく、検出電極と被検査物との接触により被検査物の極微量の液漏れを検出することができる液漏れ検査システムを提供する。【解決手段】 ガラスエポキシ樹脂性の絶縁基板1上に、厚さ1〜100μmの互いに対向する櫛形の検出電極2,2からなるパターン検出電極15を形成する。インピーダンス調節器6は、パターン検出電極15の電触を抑制する。液漏れ検出器7は、パターン検出電極15からの信号を受けて被検査物の液漏れを判定する。
請求項（抜粋）：
絶縁基板上に形成され、厚さが1〜100μmである検出電極が対向してなるパターン検出電極と、上記パターン検出電極の電蝕を抑制する電蝕作用抑制手段と、上記パターン検出電極からの信号を受けて被検査物の液漏れを判定する判定手段とを備えた液漏れ検査システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 3/16 Z
, G01N 27/02 Z
2G060AC01
, 2G060AC02
, 2G060AE11
, 2G060AE12
, 2G060AF06
, 2G060AG06
, 2G060AG08
, 2G060EA03
, 2G060EA04
, 2G060EA06
, 2G060EA07
, 2G060EB05
, 2G060FA01
, 2G060JA05
, 2G060JA06
, 2G060KA05
, 2G060KA12
, 2G067AA47
, 2G067BB11
, 2G067CC02
, 2G067DD22
, 2G067DD23
