特許
J-GLOBAL ID：200903002099884167
平面研削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-010448
公開番号（公開出願番号）：特開平9-201750
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 砥石の研削面の傾きの微調整が容易で、ウェハのTTVを向上させることが可能な平面研削装置を提供する。【解決手段】 先端に研削砥石が取り付けられた砥石回転軸と、該砥石回転軸に略平行な軸を有し、かつウェハをチャックするウェハチャックとを備える平面研削装置であって、砥石10の研削面10a上において、砥石回転軸の軸心上の点Oと、ウェハチャックの軸心上であって砥石10の外周上に位置する点P2 と、研削面10a上に投影されたウェハ24の外周と砥石10の外周との間の交点P1 とにより研削面10a上規定されるA-A’軸およびこれに直交するB-B’軸からなる直交座標系の各々の座標軸を中心に砥石10の研削面10aをそれぞれ傾斜可能な傾斜手段を備えるものとした。
請求項（抜粋）：
先端に研削砥石が取り付けられた砥石回転軸と、該砥石回転軸に略平行な軸を有し、かつウェハをチャックするチャックテーブルとを備える平面研削装置であって、前記砥石の研削面上において、前記砥石回転軸の軸心上の点と、前記チャックテーブルの軸心上であって前記砥石の外周上に位置する点と、前記研削面上に投影された前記ウェハの外周と前記砥石の外周との間の2つの交点のうちの一点とにより該研削面上規定される所定の直交座標系の各々の座標軸を中心に前記砥石の研削面をそれぞれ傾斜可能な傾斜手段を備えた平面研削装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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