特許
J-GLOBAL ID：200903002112052729
感光性樹脂組成物の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-273572
公開番号（公開出願番号）：特開平10-120918
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 感光性樹脂組成物中の陰イオンを工業的に容易な設備、操作、費用で低濃度にまで除去し、しかも感度や保存安定性も良好な感光性樹脂組成物を得る。【解決手段】 感光性化合物及びアルカリ可溶性樹脂を有機溶媒に溶解してなる感光性樹脂組成物の製造方法において、感光性化合物及び/又はアルカリ可溶性樹脂を有機溶媒に溶解した溶液を、陰イオン交換樹脂に接触させることによりイオン交換樹脂に不純物を吸着させ不純物混入量を低減させる工程を有し、下記一般式(I)で表される4級アンモニウム塩基を有する構造単位および不飽和炭化水素基含有架橋性モノマーから誘導される構造単位を含有する陰イオン交換樹脂を使用する。(Aはアルキレン基またはアルコキシメチレン基、R1 は水酸基で置換されてもよいアルキル基、R2 及びR3 は炭化水素基、X- はアンモニウム基に配位した対イオンを表す。)
請求項（抜粋）：
感光性化合物及びアルカリ可溶性樹脂を有機溶媒に溶解してなる感光性樹脂組成物の製造方法において、感光性化合物及び/又はアルカリ可溶性樹脂を有機溶媒に溶解した溶液を、陰イオン交換樹脂に接触させることによりイオン交換樹脂に不純物を吸着させ不純物混入量を低減させる工程を有し、かつ該陰イオン交換樹脂として、下記一般式(I)で表される4級アンモニウム塩基を有する構造単位および不飽和炭化水素基含有架橋性モノマーから誘導される構造単位を含有する陰イオン交換樹脂を使用することを特徴とする感光性樹脂組成物の製造方法。【化1】(一般式(I)中、Aは炭素数3〜8の直鎖状アルキレン基または炭素数4〜9のアルコキシメチレン基を表わし、R1 は水酸基で置換されてもよい炭素数1〜4のアルキル基、R2 及びR3 は炭素数1〜4の炭化水素基、X- はアンモニウム基に配位した対イオンを表し、また、ベンゼン環はアルキル基またはハロゲン原子で置換されていてもよい。)
IPC (5件)：
C08L101/02
, B01J 41/04
, G03F 7/022
, H01L 21/027
, G03F 7/023 511
C08L101/02
, B01J 41/04 H
, G03F 7/022
, G03F 7/023 511
, H01L 21/30 502 R
