特許
J-GLOBAL ID：200903002115232400
熱排出方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050177
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243125
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：
【要約】【課題】 処理室であるクリーンルーム内で発生した熱をエアを介することなく十分に室外に排出できる熱排出装置を提供する。【解決手段】 室内雰囲気が所定レベルに管理されているクリーンルーム1と、このクリーンルーム1内に設置された発熱源である生産設備3と、発熱媒体である外気導入された空気Pが流れる排熱ダクト13と、生産設備3で発生した熱を排熱ダクト13内に案内してこれを空気Pに伝導するヒートパイプ15とを有しており、空気Pを介して熱を室外に排出する熱排出装置である。
請求項（抜粋）：
室内雰囲気が所定レベルに管理されている処理室内の熱を排出する熱排出方法であって、前記処理室内の発熱源で発生した熱を排熱媒体に伝導し、この排熱媒体を外部に放出することによって熱を室外に排出することを特徴とする熱排出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F24F 7/06 Z
, H01L 21/02 D
