ディスク洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶山佶是 , 山本富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-298774
公開番号（公開出願番号）：特開2007-105624
出願日： 2005年10月13日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】バッチ方式で複数のディスクを同時にスクラブ洗浄することが可能であり、洗浄処理のスループットを向上させることができ、装置の小型化に適したディスク洗浄装置を提供することにある。【解決手段】この第1の発明は、回転ブラシを所定の長さの円筒状あるいは円板状のブラシとして回転ブラシが複数個挿着された回転軸を有し隣接する前後の回転ブラシのブラシ面の間にディスクが挿入されて保持され回転ブラシを回転させる回転ブラシユニットと、回転ブラシの回転による回転軸を中心とする保持したディスクの公転を阻止し自転を許容するためのディスク公転防止ストッパとを有するものである。第2の発明は、さらに回転軸側を3点チャックの1点とし、この回転軸に対向させて3点チャックの他の2点をそれぞれ設けて複数のディスクを回転可能にチャックするものである。【選択図】図1

請求項１：

回転ブラシをディスクの表面に両面から接触させてディスクを洗浄するディスク洗浄処理装置において、前記回転ブラシを所定の長さの円筒状あるいは円板状のブラシとして前記回転ブラシが複数個挿着された回転軸を有し隣接する前後の前記回転ブラシのブラシ面の間に前記ディスクが挿入されて保持され前記回転ブラシを回転させる回転ブラシユニットと、前記回転ブラシの回転による前記回転軸を中心とする保持した前記ディスクの公転を阻止し自転を許容するためのディスク公転防止ストッパとを有するディスク洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 1/04 , H01L 21/304 , G11B 7/26 , G11B 5/84

FI (5件)：

B08B1/04 , H01L21/304 644C , H01L21/304 644G , G11B7/26 501 , G11B5/84 Z

Fターム (16件)：

3B116AA03 , 3B116AB23 , 3B116AB33 , 3B116AB42 , 3B116BA02 , 3B116BA14 , 3B116BB02 , 3B116BB22 , 3B116CD41 , 5D112AA24 , 5D112GA08 , 5D121BA01 , 5D121BB34 , 5D121BB38 , 5D121GG18 , 5D121GG28

引用特許：

出願人引用 (9件)

洗浄方法および洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-275500 出願人：システム精工株式会社
丸型基板洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-208391 出願人：島田理化工業株式会社
スクラブ洗浄用ブラシの製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-317679 出願人：スピードファムクリーンシステム株式会社, 有限会社イーグル化成

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審査官引用 (5件)

ディスク洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-201886 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
オーバーフロー式スクラブ洗浄方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-273971 出願人：スピードファムクリーンシステム株式会社
特開平1-254110

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