特許
J-GLOBAL ID：200903002130304972
ガラスセラミックス及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-217419
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048774
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 熱膨張係数が小さく、 He 等のガスの吸脱着量が少ないという特性を有する機械加工性が良好なガラスセラミックス及びその製造方法を提供する。【構成】 ガラスマトリックス中にフッ素金雲母微結晶と LiO2-Al2O3-SiO2系の微結晶を含有し、熱膨張係数が小さく、かつ He の吸脱着量が 1×10-9〜10×10-9 atm・cc/sec の範囲内である機械加工性の優れたガラスセラミックス、及びアルコキシド化合物を用いたこのガラスセラミックスの製造方法。【効果】 機械加工性ガラスセラミックスの、半導体関連分野で使用される治具や特殊基板等に用いる材料としての使用が可能になった。
請求項（抜粋）：
ガラスマトリックス中に重量基準で10〜60%のフッ素金雲母微結晶と10〜50重量%の LiO2-Al2O3-SiO2系の微結晶を含有するガラスセラミックスであって、熱膨張係数が 4.0×10-6〜 6.0×10-6/°C(25〜800 °C)であり、かつ He の吸脱着量が 1×10-9〜10×10-9 atm・cc/sec の範囲内であることを特徴とする機械加工性の優れたガラスセラミックス。
IPC (3件)：
C03C 10/16
, C01B 13/32
, H01L 23/15
