分子ポンプ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324731
公開番号（公開出願番号）：特開平9-310696
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】プロセスガス負荷の大小にかかわらずロータやステータや排気管等の排気ガスと接触する部分の温度を所定温度に保って凝縮性ガスの凝縮を常時防止することができる分子ポンプを提供する。【解決手段】導入量の制御が可能な予熱用ガス導入手段と導入量の制御が可能なパージガス導入手段とを具備すると共に、リング3b、3bを介してステータ3aを上部筐体6に断熱的に係止し、第1ねじシール7を該ステータ3aに密着して接続し、排気管12a及び12bを下部筐体12に断熱的に挿通した構造とし、更に駆動用モータ8aは一定値以上のガス負荷の増大に対してその回転速度が低下する特性としてステータ3a、ロータ5等の排気ガスと接触する部分の温度調節を可能に形成した。

請求項（抜粋）：