特許
J-GLOBAL ID：200903002137650825
微細金属球の吸着ヘッド及びそれを用いた検査装置、並びにボールバンプ形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-187516
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026467
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 配列基板に吸着保持されている微細金属球の大きさ及び形状を高精度に検査できるようにする。【解決手段】 多数のボール吸着孔5が形成された透光性の配列基板2と、前記透光性の配列基板2を支持する基板支持体3と、前記基板支持体3の内部空間3a内に配設された面発光手段4とを備え、前記配列基板2に微細金属球6を吸着した状態で前記微細金属球6を検査するための光源を、前記吸着ヘッド1の内部に配設することにより、前記微細金属球6を吸着している配列基板2を撮像する際に、バックグランド光の強度にむらが生じないようにして、画像認識を高精度に行うことができるようにする。
請求項（抜粋）：
多数のボール吸着孔が形成された透光性の配列基板と、前記配列基板を支持する基板支持体と、前記基板支持体の内部に配設された面発光手段とを具備することを特徴とする微細金属球の吸着ヘッド。
FI (3件)：
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 604 J
, H01L 21/92 604 Z
