特許
J-GLOBAL ID：200903002140334527
物体検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118324
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281401
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 レチクル内の主要領域の位相シフト量の欠陥や、露光に支障を来す汚染物などの異物の検査を、短時間で同時に行う。【解決手段】 照明用の光線i00は、ノマルスキープリズム10,対物レンズ12によってシャーした照明光EO,OEとなる。物体面Sを透過した光は、対物レンズ14,ノマルスキープリズム16により合成されて、ハーフミラー18に入射する。透過光は、1/4波長板20,偏光ビームスプリッタ22により異なる偏光方向で干渉成分が取り出され、反射光は、偏光ビームスプリッタ24によってEO,OEの強度成分が取り出される。これらの各成分を強度調整して得た誤差信号から物体の欠陥検査が行われる。
請求項（抜粋）：
照明用の直交する第1及び第2の偏光方向の光を供給する照明手段;これから得られた直交する第1及び第2の偏光方向の光の光軸を相対的にシャーして観察対象の物体に照射する光分離手段;物体を透過又は反射した前記第1及び第2の偏光方向の光を合成する光合成手段;前記第1及び第2の偏光方向の光の位相差を調整する位相差調整手段;前記光合成手段によって合成された光から、第1及び第2の偏光方向の光の強度成分をそれぞれ検出する強度成分検出手段;前記光合成手段によって合成された光から、第1及び第2の偏光方向の干渉成分を検出するための干渉成分検出手段;前記強度成分検出手段及び前記干渉成分検出手段の検出結果から、物体の検査を行う検査手段;を備えたことを特徴とする物体検査装置。
IPC (5件)：
G02B 21/24
, G01J 9/00
, G01N 21/21
, G01N 21/88
, G02B 21/00
G02B 21/24
, G01J 9/00
, G01N 21/21 Z
, G01N 21/88 E
, G02B 21/00
