単結晶インゴットの方位測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-207372
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033456
出願日： 1995年07月24日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】固定金具を取り付けたインゴットを静止させておいて、X線回折測定系の方を90°ずつ回転させることによって、4方向において結晶格子面の偏差角に関する情報を測定し、固定金具を基準とした偏差角関連情報を得る。【構成】 A点にX線管を、C点にX線検出器を配置して、X線回折測定系をE点を中心として、A・E・C点を含む測角平面内で回動して、回折X線の検出できる回動角度δ1を測定する。次に、X線回折測定系をインゴット20の軸方向の回りに90°時計回りに回転して、B点にX線管を、D点にX線検出器を配置し、回折X線の検出できる回動角度δ2を測定する。次に、インゴット20と固定金具28をインゴット20の軸方向に一時的に後退させて、X線回折測定系を時計方向に90°回転する。インゴット20と固定金具28を元の測定位置に戻して、回折X線の検出できる回動角度δ3を測定する。さらに、X線回折測定系を時計方向に90°回転して、回折X線の検出できる回動角度δ4を測定する。

請求項（抜粋）：

次の各段階を備える単結晶インゴットの方位測定方法。(イ)円筒形状の単結晶インゴットに固定金具を固定する段階。(ロ)前記固定金具を方位測定装置に取り付ける段階。(ハ)前記インゴットの一方の端面上にX線回折測定系の照射点を合わせる段階。(ニ)前記端面にX線を照射してそこからの回折X線を検出することにより、前記固定金具を基準としてインゴットの端面と結晶格子面とのなす角度(以下、偏差角という。)に関する第1の情報を得る段階。(ホ)前記インゴットを静止したままで、X線回折測定系を前記インゴットの軸方向の回りに一定方向に90°回転する段階。(ヘ)前記端面にX線を照射してそこからの回折X線を検出することにより、前記固定金具を基準として前記偏差角に関する第2の情報を得る段階。(ト)前記インゴットと前記固定金具を前記X線回折測定系に対して前記インゴットの軸方向に相対的に移動させて、前記端面を前記X線回折測定系から遠ざける段階。(チ)前記X線回折測定系を前記インゴットの軸方向の回りに前記一定方向に90°回転する段階。(リ)前記インゴットを前記X線回折測定系に対して前記インゴットの軸方向に相対的に移動させて、前記端面上に前記照射点を合わせる段階。(ヌ)前記端面にX線を照射してそこからの回折X線を検出することにより、前記固定金具を基準として前記偏差角に関する第3の情報を得る段階。(ル)前記インゴットを静止したままで、X線回折測定系を前記インゴットの軸方向の回りに前記一定方向に90°回転する段階。(ヲ)前記端面にX線を照射してそこからの回折X線を検出することにより、前記固定金具を基準として前記偏差角に関する第4の情報を得る段階。

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