特許
J-GLOBAL ID:200903002152381130
超音波検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
武 顕次郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-217906
公開番号(公開出願番号):特開2001-041942
出願日: 1999年07月30日
公開日(公表日): 2001年02月16日
要約:
【要約】【課題】 水温を測定することなく漏洩弾性表面波の音速を高精度に算出することができる超音波検査装置を提供する。【解決手段】 音響レンズ3の焦点を被検体Sの表面に合致する(手順S1)。振動子2から超音波を送信し、斜角経路を通る超音波の伝搬時間tL0と、垂直経路を通る超音波の伝搬時間tV0を計測する。また、超音波プローブ1を取り付けたZ軸スライダ18の出力値Z0 の読み込みを行う(手順S2)。漏洩弾性表面波を検出するまで超音波プローブを被検体に接近させる(手順S3,S4)。振動子から超音波を送信し、斜角経路を通る超音波の伝搬時間tL1と、垂直経路を通る超音波の伝搬時間tV1を計測する。また、Z軸スライダ18の出力値Z1 の読み込みを行う(手順S5)。時間差ΔtL(=tL0-tL1)及びΔtV(=tV0-tV1)並びに音響レンズ3のデフォーカス量ΔZ(=Z0-Z1)を算出する(手順S6)。これらの算出値から、VL=2・ΔZ・(ΔtV2-ΔtL2)-1/2を用いて漏洩弾性表面波の音速VLを求める。
請求項(抜粋):
超音波プローブ及び当該超音波プローブを被検体に対して移送する機械式スキャナを有する超音波走査部と、当該超音波走査部の駆動部と、当該駆動部を介して前記超音波走査部を制御し、所望の超音波検査を実行する演算処理部とを備えた超音波検査装置において、前記超音波プローブの焦点を前記被検体の第1の深さ位置に設定して超音波を送信したときの斜角入射波及び漏洩弾性表面波並びに漏洩波の伝搬時間と前記超音波プローブの焦点を前記被検体の第2の深さ位置に設定して超音波を送信したときの斜角入射波及び漏洩弾性表面波並びに漏洩波の伝搬時間との差分、及び前記超音波プローブの焦点を前記被検体の第1の深さ位置に設定して超音波を送信したときの垂直入射波及び垂直反射波の伝搬時間と前記超音波プローブの焦点を前記被検体の第2の深さ位置に設定して超音波を送信したときの垂直入射波及び垂直反射波の伝搬時間との差分を元に、前記演算処理部にて漏洩弾性表面波の音速を算出することを特徴とする超音波検査装置。
Fターム (15件):
2G047BB01
, 2G047BB02
, 2G047BC02
, 2G047BC07
, 2G047CB03
, 2G047DB14
, 2G047EA14
, 2G047GA06
, 2G047GB02
, 2G047GB23
, 2G047GB24
, 2G047GB25
, 2G047GG19
, 2G047GG24
, 2G047GG30
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