X線計測装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113027
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304728
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】2波長以上のX線を用いた反射率測定と対称,非対称,面内の回折線測定から、積層体構造評価の高度な計測が可能なX線計測装置を提供する。【解決手段】2種以上の元素からなるX線ターゲットを用いたX線源、特定の特性X線のみを2回の反射で取り出す分光素子を各特性X線毎に具備したX線計測装置。

請求項（抜粋）：

X線源,分光器,試料及び検出器の駆動台,検出器及び制御部からなり、試料駆動台に設置した試料にX線を照射し、試料からの反射X線及び回折線を測定するX線計測装置において、X線源に少なくとも2種以上の元素からなるX線ターゲットを用いることを特徴とするX線計測装置。

IPC (5件)：

G01N 23/20 , G01N 23/207 , G21K 1/06 , G21K 5/08 , H01J 35/08

FI (5件)：

G01N 23/20 , G01N 23/207 , G21K 1/06 T , G21K 5/08 X , H01J 35/08 B

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