感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津国肇 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2001002202
公開番号（公開出願番号）：WO2001-071428
出願日： 2001年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月27日
要約：

【要約】本発明は、感光性樹脂組成物の、高圧水銀灯全波長の活性光線照射により、濃度領域0.00〜2.00、濃度ステップ0.05、タブレットの大きさ20mm×187mm、各ステップの大きさが3mm×12mmである41段ステップタブレットの、濃度1.00の21段が硬化する露光量をE0mJ/cm2とし、前記感光性樹脂組成物を40Wの無紫外白色灯下で2時間放置した後の感光性樹脂組成物の、高圧水銀灯全波長の活性光線照射により前記41段ステップタブレットの21段が硬化する露光量をE1mJ/cm2とした時に下記式(1):-25≦(E1-E0)/E0×100≦25 (1)を満足することを特徴とするレーザー走査露光用感光性樹脂組成物を提供する。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂組成物の、高圧水銀灯全波長の活性光線照射により、濃度領域0.00〜2.00,濃度ステップ0.05,タブレットの大きさ20mm×187mm,各ステップの大きさが3mm×12mmである41段ステップタブレットの、濃度1.00の21段が硬化する露光量をE0mJ/cm2とし、前記感光性樹脂組成物を40Wの無紫外白色灯下で2時間放置した後の感光性樹脂組成物の、高圧水銀灯全波長の活性光線照射により前記41段ステップタブレットの21段が硬化する露光量をE1mJ/cm2とした時に下記式(1):を満足することを特徴とするレーザー走査露光用感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (4件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

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