特許
J-GLOBAL ID：200903002155630050
梁構造体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207092
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048226
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】反射率と遮光率が共に高く、反りが少なく、経時変化も少ない柔軟な梁を有する小型の梁構造体を提供する。【解決手段】梁構造体は、中央に開口部を有する支持部102と、支持部102から開口部内に延びる片持ち梁104を有している。片持ち梁104は短冊形状をしており、長さは100μm、幅は40μmである。片持ち梁104は、基材である厚さ20μmの窒化シリコン膜112と、窒化シリコン膜112の上に設けられた厚さ20nmのアルミニウムコート膜114と、アルミニウムコート膜114の上に設けられた厚さ30nmの金コート膜116とで構成されている。これらの膜112と114と116は、シリコン製の台座110の上に形成されており、台座110は片持ち梁104の下側周辺部が堀り込まれ、開口部106となっている。
請求項（抜粋）：
弾性変形する梁と、梁を支持する支持部と、梁の片面に設けられた複数の金属コート膜とを有する梁構造体であり、複数の金属コート膜は、梁に接して設けられた第一の金属コート膜と、第一の金属コート膜の上に設けられた第二の金属コート膜とを含み、第一の金属コート膜は第二の金属コート膜よりも遮光性が高く、第二の金属コート膜は第一の金属コート膜よりも変質し難い、梁構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
