特許

J-GLOBAL ID：200903002160828003

基板処理装置のスピンチャック

発明者： 吉岡 勝司 ,  左成 卓也
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-309822
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150097
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 スピンチャックの基板保持部の吸着保持部の周縁部を破損し難くし、吸着保持部の周縁部からのリークを防止する。【解決手段】 基板保持部2の吸着保持部3に基板Wを真空吸着保持して回転させる基板処理装置のスピンチャックにおいて、基板保持部2の吸着保持部3の周縁部を構成する保持部周縁部分8を弾性の高い材料で構成し、この弾性の高い材料で構成した保持部周縁部分8を、保持部周縁部分8よりも回転中心軸J側の基板保持部2の母体部分7に接合して基板保持部2を構成した。

請求項（抜粋）：

基板保持部の吸着保持部に基板を真空吸着保持して回転させる基板処理装置のスピンチャックにおいて、前記基板保持部の吸着保持部の周縁部を構成する保持部周縁部分を弾性材で構成し、この弾性材で構成した保持部周縁部分を、前記保持部周縁部分よりも回転中心側の基板保持部の母体部分に接合して前記基板保持部を構成したことを特徴とする基板処理装置のスピンチャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 351

FI (5件)：

H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A ,  H01L 21/304 351 S ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 C