特許

J-GLOBAL ID：200903002162515690

オートフォーカス装置

発明者： 小瀧 健一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-004751
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214150
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 収差やフレアの影響をまったく受けずに、かつ簡単な構成で高精度なオートフォーカスを行なう。【構成】 透過照明系1、2a、3、2b、4、5、6には物体面7の照明領域を撮像素子11の撮像面11’にほぼ共役な大きさに制限する視野絞り4を設けると共に、透過照明系1、2a、3、2b、4、5、6による物体面7の照明領域外に透過照明系1、2a、3、2b、4、5、6による物体照明光とほぼ等しい波長帯域の指標光を照射する指標照射光学系8、9、13、12、10、14、15、16を設け、さらに、物体面7で反射した指標光を照明光と分離して受光する受光光学系8、9、13、10、17、18とを有し、この受光光学系8、9、13、10、17、18のビデオカメラ18からの信号に基づいて、物体面7の像を撮像素子11の撮像面11’に合焦させる。

請求項（抜粋）：

物体面に照明光を照射する照明手段と照明された物体を対物レンズにより物体投影面に結像させ、その像を撮像手段により撮像するための観察系とを有する装置において、前記照明手段による物体の照明領域を前記撮像手段の撮像面に共役な大きさに制限する光束制限部材を前記照明手段に設けると共に、対物レンズを通して前記照明手段による物体の照明領域以外に前記照明光とほぼ一致する波長帯域の指標光を物体面に結像させる指標照射手段と、物体面で反射した指標光を前記照明手段による照明光と分離して受光する受光手段と、前記受光手段の出力に基づき、前記物体面を前記撮像手段の撮像面に合焦させる制御手段とを設けたことを特徴とするオートフォーカス装置。

IPC (3件)：

G02B 7/34 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/06

FI (2件)：

G02B 7/11 C ,  G02B 7/11 J