特許

J-GLOBAL ID：200903002164335087

単結晶引上装置用ヒーター

発明者： 堀尾 泰臣 ,  高木 俊
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094441
公開番号（公開出願番号）：特開平8-259378
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】 ヒーターの本体部とターミナル部との接合部にシリコン等が侵入することを防止することができる単結晶引上装置用ヒーターを提供する。【構成】 単結晶引上装置に使用される単結晶引上装置用ヒーターにおいて、前記ヒーターは、発熱する本体部と、前記本体部に給電するためのターミナル部とが接合さたものであり、前記接合部の上部にあたる前記本体部に回流部を設けたものである単結晶引上装置用ヒーター。

請求項（抜粋）：

単結晶引上装置に使用される単結晶引上装置用ヒーターにおいて、前記ヒーターは、発熱する本体部と、前記本体部に給電するためのターミナル部とが接合されたものであり、前記接合部の上部にあたる前記本体部に回流部を設けたことを特徴とする単結晶引上装置用ヒーター。

IPC (3件)：

C30B 15/14 ,  H05B 3/14 ,  H05B 3/62

FI (3件)：

C30B 15/14 ,  H05B 3/14 F ,  H05B 3/62