特許
J-GLOBAL ID：200903002166244992
感放射線性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-209404
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249683
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【構成】 酸分解性シリル基を有するポリマー、感放射線性酸形成剤および弱塩基性含チッ素化合物を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【効果】 現像液による膨潤がなく、現像性、パターン形状、接着性、リソグラフィープロセス安定性、耐熱性などに優れ、高解像度で高感度であり、かつエキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線、電子線などの荷電粒子といった様々な放射線源に対応できるレジスト組成物として好適な感放射線性組成物を提供することができる。
請求項（抜粋）：
酸分解性シリル基を有するポリマー、感放射線性酸形成剤および弱塩基性含チッ素化合物を含有することを特徴とする感放射線性組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
