特許

J-GLOBAL ID：200903002172728861

光起電力素子の製造方法及び装置

発明者： 一ノ瀬 博文 ,  村上 勉 ,  長谷部 明男 ,  新倉 諭 ,  上野 雪絵 ,  久松 雅哉
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 荻上 豊規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-293313
公開番号（公開出願番号）：特開平9-116181
出願日： 1995年10月17日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【目的】 エッチングによるパターニングと欠陥部の短絡除去の工程を連続的に行い、低コストで量産性の高い、シャントなどの電気的短絡などの問題を解決して特性の良好な光起電力素子の製造方法を提供する。エッチングによるパターニングと欠陥部の短絡除去処理を同一装置内で行い、小型で、処理時間を削減できる光起電力素子の製造装置を提供する。【構成】 基板上に形成した半導体層と透明導電膜からなる光起電力素子を用意し、該光起電力素子基板を電解液中に浸漬し、前記光起電力素子基板側を陰極とし、前記光起電力素子基板及び前記電解液間に直流電流またはパルス電流を流し、前記透明導電膜を電解還元してパターニングする工程と、前記光起電力素子基板側に順バイアスを直流印加またはパルス印加して前記光起電力素子の欠陥部の周辺の透明導電膜を電解還元して欠陥部の電気的短絡を除去する工程を同一電解液中で行うことを特徴とする光起電力素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された半導体層と透明導電膜からなる光起電力素子を用意し、該光起電力素子と対向極を電解液中に浸漬し、前記光起電力素子と前記対向極の間に電圧を印加し、前記透明導電膜を電解還元してパターニングする第1の工程と、前記電解液中で前記光起電力素子と前記対向極の間に電圧を印加して前記光起電力素子の欠陥部の周辺の透明導電膜を電解還元して欠陥部の電気的短絡を除去する第2の工程を行うことを特徴とする光起電力素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 31/04 ,  C25F 3/12 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/3063

FI (4件)：

H01L 31/04 M ,  C25F 3/12 ,  H01L 21/306 J ,  H01L 21/306 L