特許
J-GLOBAL ID:200903002180920968

顕微鏡被検対象物のコントラスト化方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 朝道
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-510523
公開番号(公開出願番号):特表平8-502600
出願日: 1993年09月15日
公開日(公表日): 1996年03月19日
要約:
【要約】コントラスト化方法およびこの方法を実施するための装置が記載され、顕微鏡振幅対象物および/または位相対象物に対してレリーフコントラストが得られる。その際、コンデンサレンズ(2)の入射瞳(L’)が部分的非対称に絞り込まれ、同時に対物レンズ(3)の出射瞳(L”)にセクタ絞り(S)の像(S’)が形成される。ここで位相プレート(7)の位相セグメント(8)は像(S’)を少なくとも部分的に覆う。位相セグメント(8)の大きさは像(S’)の扇形の大きさに適台することができる。しかし格段に小さくすることもできる。後者の場合、セクタ絞り(5)は付加的に減衰セクタ(D)を有する。この減衰セクタは所定の減衰係数、例えば15%の半透明材料からなる。本発明の方法ないし装置は、透過光照明式顕微鏡および/または反射光照明式顕微鏡に対し通常のビーム路ないし反転ビーム路で適用される。
請求項(抜粋):
被検振幅対象物および/または位相対象物に対するコントラスト化方法において、 顕微鏡像にレリーフコントラストを形成するために、 a)コンデンサレンズ(2)の入射瞳(L’)を部分的、非対称に絞り込み、 b)対物レンズ(3)の出射瞳(L”)に形成される、セクタ絞り(S)の像(S’)を少なくとも部分的に非対称位相セグメント(8)により覆ったことを特徴とするコントラスト化方法。

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