特許
J-GLOBAL ID：200903002194759809
クリーンルーム用直線作動機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
祐川 尉一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-187373
公開番号（公開出願番号）：特開平10-030705
出願日： 1996年07月17日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】【課題】 周囲の空気を汚損するおそれがなく、しかも、広い設置スペースを必要としない低コストなクリーンルーム用直線作動機を提供する。【解決手段】 外筒2の内周面に軸方向に摺動自在に案内されるナット部材12で仕切られて前記ナット部材前方に形成される外筒内部の空間と、前記ナット部材の後方に形成される少なくとも外筒内部の空間とが、それぞれ直線作動機1の外部に対して気密に密閉されているとともに、前記ナット部材前後の空間どうしが通気管17によって連通されている。内筒5の伸縮時に前記両方の空間内の間で直線作動機1内の空気が移動し、外部には流出市内ので、クリーンルーム内の環境を汚損する恐れがない。
請求項（抜粋）：
ハウジングに内蔵された回転駆動源によって回転されるネジ軸に内筒に固定されたナット部材が螺合され、前記ハウジングに固定された外筒に対して前記内筒が前記ネジ軸の回転によって伸縮するように構成されている直線作動機において、前記外筒の内周面に軸方向に摺動自在に案内されるナット部材で仕切られて前記ナット部材前方に形成される外筒内部の空間と、前記ナット部材の後方に形成される少なくとも外筒内部の空間とが、それぞれ直線作動機の外部に対して気密に密閉されているとともに、前記ナット部材前後の空間どうしが通気管によって連通されていることを特徴とするクリーンルーム用直線作動機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16H 25/24 N
, H02K 5/10 Z
