半導体ウエハの収納方法及び収納容器

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165078
公開番号（公開出願番号）：特開2000-355392
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】半導体ウエハの梱包及び取り出しを自動で行なうことを可能とする、低コストな半導体ウエハの収納方法及び収納容器を提供すること。【解決手段】半導体ウエハを収納する複数の収納部と、該複数の収納部を連結する蛇腹部と、気体を出し入れする空気栓とを具備し、且つ蛇腹部は前記出し入れする気体の圧力により内側あるいは外側に折り畳み且つ伸張可能なように構成したことにある。

請求項（抜粋）：

蛇腹部で連結された複数の収納部に半導体ウエハを収納し、然る後に前記蛇腹部を折り畳むことを特徴とする半導体ウエハの収納方法。

IPC (2件)：

B65D 85/86 , H01L 21/68

FI (2件)：

B65D 85/38 R , H01L 21/68 V

Fターム (14件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB03 , 3E096CA11 , 3E096CB10 , 3E096DA30 , 3E096FA03 , 3E096FA04 , 3E096FA26 , 3E096FA27 , 3E096FA31 , 3E096GA01 , 5F031CA02 , 5F031DA19

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