特許
J-GLOBAL ID:200903002203508288

基板搬送用ボックス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大石 征郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-082446
公開番号(公開出願番号):特開平7-257681
出願日: 1994年03月28日
公開日(公表日): 1995年10月09日
要約:
【要約】【目的】 取り扱い性、搬送性、基板の保護性にすぐれ、しかも従来に比し製造コストを小さくすることのできる基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。【構成】 発泡倍率3〜30倍の発泡体(殊にポリオレフィン系樹脂発泡体)でできたボックス(1) の内部に、基板支持用の溝(2a)を有する板状または箱状の溝付き内挿部材(2) を配置した構成を有する基板搬送用ボックスである。溝付き内挿部材(2) は、発泡体でできた板状または箱状の発泡成形体、樹脂シートを圧空成形して得た板状または箱状の圧空成形体、樹脂を溶融成形して得た板状または箱状の溶融成形体、または板体の機械加工品であることが望ましい。溝付き内挿部材(2) (さらにはボックス(1) )の少なくとも内部側の表面は、体積固有抵抗値が103 〜1012Ω・cmとなるように設定することもできる。
請求項(抜粋):
発泡倍率3〜30倍の発泡体でできたボックス(1) の内部に、基板支持用の溝(2a)を有する板状または箱状の溝付き内挿部材(2) を配置してなる基板搬送用ボックス。
IPC (3件):
B65D 85/86 ,  H01L 21/68 ,  H05K 7/14
引用特許:
審査官引用 (1件)

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