超臨界流体洗浄装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大浜博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-203759
公開番号（公開出願番号）：特開2009-038328
出願日： 2007年08月06日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：

【課題】装置構成の簡単な単一の洗浄処理チャンバーを用いて、単位時間当り可能な限り多くの枚数の被洗浄物の洗浄処理を可能とする。【解決手段】洗浄処理チャンバーと、該洗浄処理チャンバー内に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段と、上記洗浄処理チャンバー内の不要物を排出する流体排出手段とを備え、上記洗浄処理チャンバー内を超臨界状態に維持することによって、当該洗浄処理チャンバー内の被洗浄物の洗浄処理を行うようにしてなる超臨界流体洗浄装置であって、洗浄前の被洗浄物を洗浄処理チャンバー内に搬送搬入する搬送搬入手段および洗浄処理終了後の被洗浄物を洗浄処理チャンバーから取り出す搬出搬送手段を設け、洗浄処理チャンバー内の複数の位置に同時に複数枚の被洗浄物を収納セットして順次洗浄処理することができるようにした。【選択図】図4

請求項１：

洗浄処理チャンバーと、該洗浄処理チャンバー内に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段と、上記洗浄処理チャンバー内の不要物を排出する流体排出手段とを備え、上記洗浄処理チャンバー内を超臨界状態に維持することによって、当該洗浄処理チャンバー内の被洗浄物の洗浄処理を行うようにしてなる超臨界流体洗浄装置であって、洗浄前の被洗浄物を洗浄処理チャンバー内に搬送搬入する搬送搬入手段および洗浄処理終了後の被洗浄物を洗浄処理チャンバーから取り出す搬出搬送手段を設け、洗浄処理チャンバー内の複数の位置に同時に複数枚の被洗浄物を収納セットして順次洗浄処理することができるようにしたことを特徴とする超臨界流体洗浄処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 , G02F 1/13

FI (2件)：

H01L21/304 647Z , G02F1/13 101

Fターム (13件)：

2H088FA17 , 2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 5F157AA42 , 5F157AA46 , 5F157AB02 , 5F157AB13 , 5F157AC01 , 5F157BC34 , 5F157DA21 , 5F157DB02 , 5F157DC51

引用特許：

出願人引用 (2件)

超臨界流体洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-370046 出願人：隆祥産業株式会社
超臨界流体洗浄・乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-322816 出願人：隆祥産業株式会社

審査官引用 (7件)

物品を処理するための方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-364679 出願人：エアプロダクツアンドケミカルズインコーポレイテッド
ウェハ等の処理方法および処理設備
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-239084 出願人：株式会社神戸製鋼所, 大日本スクリーン製造株式会社
特開昭58-135644

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