エツチング加工性に優れたシヤドウマスク材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大場充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165384
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009658
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】サイドエッチングを少なくして、電子ビームの通過孔形状を均一にしたシャドウマスク材を提供する。【構成】 Fe-Ni系合金よりなる合金薄板の{100}結晶面の集合割合が、前記薄板の表面よりも板厚方向の中央部の方が大きいことを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク材である。好ましくは前記中央部の{100}結晶面の集合割合は30%以上である。

請求項（抜粋）：

Fe-Ni系合金よりなる合金薄板の{100}結晶面の集合割合が、前記薄板の表面よりも板厚方向の中央部の方が大きいことを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク材。

IPC (3件)：

C22C 38/00 302 , C22C 38/08 , H01J 29/07

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-064853
特開昭62-287044

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