特許

J-GLOBAL ID：200903002224014234

基板保持装置

発明者： 高橋 武博
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-177216
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012662
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、被検査部材の落下を確実に防止することができる基板保持装置を提供する。【解決手段】複数の吸着パッド6の真空吸着によりガラス基板3を保持するロボットアーム5を揺動、回転させながらガラス基板3の外観検査を行なうもので、各吸着パッド6の圧力を圧力センサ11で検出し、ここでの検出圧力が予め設定された圧力設定値を超えたとき、制御部7により警報装置71より警報を発生させるとともに、ロボットアーム5に真空吸着したガラス基板3面が水平になるようにロボットアーム5の姿勢を制御する。

請求項（抜粋）：

複数の真空吸着手段の真空吸着により被検査基板を保持する基板保持手段と、前記真空吸着手段の真空吸着に要する圧力を検出する圧力検出手段と、この圧力検出手段での圧力検出値が予め設定された圧力設定値を超えると前記基板保持手段の姿勢を制御する制御手段とを具備したことを特徴とする基板保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G02F 1/1333 500

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  G02F 1/1333 500

Fターム (7件)：

2H090JB02 ,  2H090JC18 ,  5F031CC12 ,  5F031CC22 ,  5F031FF01 ,  5F031GG03 ,  5F031GG20