特許

J-GLOBAL ID：200903002225360870

露光装置

発明者： 高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-393838
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198286
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 露光精度の向上に寄与する。【解決手段】 照明光学系IUにより照明されたマスクRのパターンを基板Wに露光する。照明光学系IUの少なくとも一部IU2とマスクRとを支持する支持部8と、マスクRの照明領域を設定するとともに、支持部8とは振動的に独立して配置された照明領域設定装置62と、照明光学系IUの少なくとも一部IU2と照明領域設定装置62との相対位置関係を検出する検出装置66と、検出装置66の検出結果に基づいて照明領域設定装置62の位置を調整する調整装置とを備える。

請求項（抜粋）：

照明光学系により照明されたマスクのパターンを基板に露光する露光装置において、前記照明光学系の少なくとも一部と前記マスクとを支持する支持部と、前記マスクの照明領域を設定するとともに、前記支持部とは振動的に独立して配置された照明領域設定装置と、前記照明光学系の少なくとも一部と前記照明領域設定装置との相対位置関係を検出する検出装置と、前記検出装置の検出結果に基づいて前記照明領域設定装置の位置を調整する調整装置とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00

FI (5件)：

G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 518

Fターム (17件)：

5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046DA08 ,  5F046DA09 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046DB14 ,  5F046DC04 ,  5F046DC10 ,  5F046DC14