特許

J-GLOBAL ID：200903002228755824

有機金属化合物供給容器

発明者： 安部 寿充 ,  讃良 憲一
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 中山 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-225595
公開番号（公開出願番号）：特開2009-059871
出願日： 2007年08月31日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：

【課題】一定の再現性ある有機金属化合物の蒸発量が得られ、キャリアガス流量を多くして有機金属化合物の気化量を多くした場合に、充填した有機金属化合物の使用率の低下を少なくできる有機金属化合物供給容器を提供する。【解決手段】容器上部にキャリアガス導入管の先端部、底部にキャリアガス導出管の先端部を配設し、かつ該容器内に有機金属化合物に対して不活性な担体に常温で固体の有機金属化合物を被覆した担体担持有機金属化合物を充填してなる有機金属化合物供給容器において、キャリアガス導入管の先端部より供給されるキャリアガスが、容器を垂直に設置した場合、その中心軸に対し略垂直方向に噴出するように、キャリアガス導入管の先端部を構成していることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項１：

容器上部にキャリアガス導入管の先端部、容器底部にキャリアガス導出管の先端部を配設し、かつ該容器内に有機金属化合物に対して不活性な担体に常温で固体の有機金属化合物を被覆した担体担持有機金属化合物を充填してなる有機金属化合物供給容器において、キャリアガス導入管の先端部より供給されるキャリアガスが、容器を垂直に設置した場合、その中心軸に対し略垂直方向に噴出するように、キャリアガス導入管の先端部を構成してなる有機金属化合物供給容器。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/448

FI (2件)：

H01L21/205 ,  C23C16/448

Fターム (10件)：

4K030AA11 ,  4K030BA11 ,  4K030CA04 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030KA45 ,  4K030KA46 ,  4K030LA14 ,  5F045AA04 ,  5F045EE02

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-265511公報
  
• 有機金属化合物供給容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-236411   出願人：住友化学株式会社
• 特開平1-265511
  
• 特開平3-131018