特許

J-GLOBAL ID：200903002238415363

可変容量コンデンサ及びその製造方法並びにその機械的共振周波数設定方法

発明者： 藤井 康生
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223895
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070040
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】片持梁部材の電気的直列抵抗およびQを変えずに、機械的共振周波数を小さくした可変容量コンデンサを提供する。【解決手段】絶縁基板1に可変容量コンデンサの一方電極となる固定電極2が形成され、この固定電極2に対して可変容量コンデンサの他方電極となる可動電極部4c’が空隙gを介して対向配置され、この可動電極部4c’は支持腕部4bを介して支持基部4a’により絶縁基板1に固定され、固定電極2と可動電極部4c’との間に印加した直流電圧により、固定電極2と可動電極部4c’との間に生じる静電力により可動電極部4c’を変位させて、可変容量を得るようにした可変容量コンデンサにおいて、可動電極部4c’の厚みが、支持腕部4bの厚みに対して、大きいことを特徴とする可変容量コンデンサ。

請求項（抜粋）：

絶縁基板に一方電極となる固定電極が形成され、この固定電極に対して他方電極となる可動電極部が空隙を介して対向配置され、この可動電極部は支持腕部を介して支持基部により前記絶縁基板に支持固定され、前記固定電極と前記可動電極部との間に印加した電圧により前記可動電極部を変位させて可変容量を得るようにした可変容量コンデンサにおいて、前記可動電極部の厚みと前記支持腕部の厚みを相互に違う厚みに構成したことを特徴とする可変容量コンデンサ。