特許

J-GLOBAL ID：200903002239829200

試料に対する荷電粒子の焦点を調整する合焦制御方法

発明者： 瀬山 雅裕
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289868
公開番号（公開出願番号）：特開2000-123769
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 SEM又はEBテスタにおいて、荷電粒子を試料上で掃引した結果得られるビデオ信号に基づき、荷電粒子の試料に対する焦点を調整する合焦制御方法を提供する。【解決手段】 本発明によるEBテスタが、レベルモニタ90及びバンドパスフィルタ部100を備える。バンドパスフィルタ部100は、周波数合成部70およびロックインアンプ80を有する。走査信号生成部40は、走査信号42に同期する同期信号44を、周波数合成部70に出力する。周波数合成部70は、同期信号44に同期し、かつN倍の周波数を有する参照信号46をロックインアンプ80に出力する。一方、ビデオ信号生成部36で生成されたビデオ信号38は、ビデオ増幅器50で増幅されて、ロックインアンプ80に入力される。ロックインアンプ80は、参照信号46及びビデオ信号38に基づいて、ビデオ信号38から第n高調波成分を取り出す。操作者は、レベルモニタ90に表示された第n高調波成分のレベルに基づいて、フォーカス信号32を調整する。

請求項（抜粋）：

試料に荷電粒子を照射しながら走査して、前記荷電粒子が前記試料に衝突して前記試料から放射された二次電子を検出することにより、前記試料の状態を計測する装置であって、前記試料に対して前記荷電粒子を照射する荷電粒子源と、前記荷電粒子源より照射される前記荷電粒子を、前記試料に対して合焦する合焦部と、前記荷電粒子を前記試料上で走査させる走査部と、前記試料から放出される前記二次電子を受け取り、前記二次電子の量に対応する二次電子検出信号を出力する二次電子検出信号生成部と、前記二次電子検出信号の、所定の高調波成分を中心とする周波数成分を取り出すバンドパスフィルタ部とを備えることを特徴とする装置。

IPC (3件)：

H01J 37/21 ,  G02B 7/36 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

H01J 37/21 B ,  H01L 21/66 C ,  G02B 7/11 D

Fターム (17件)：

2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051CE09 ,  2H051CE12 ,  2H051CE14 ,  2H051DA00 ,  4M106AA02 ,  4M106BA02 ,  4M106DE01 ,  4M106DE11 ,  4M106DE14 ,  4M106DE20 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ23 ,  5C033MM03 ,  5C033MM05