特許

J-GLOBAL ID：200903002244692760

反応熱検出器および反応熱検出装置

発明者： 本田 宣昭
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-220185
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035611
出願日： 2001年07月19日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】 微小空間におけるバイオ・ケミカル反応等に伴う微少な反応熱を検出するに好適な反応熱検出器を提供する。【解決手段】 半導体基板1に熱的に絶縁して形成される薄膜状のメンブラン(ブリッジ)3に複数の薄膜温度センサ4a,4bを設け、これらの各薄膜温度センサ上にそれぞれ流体を導く複数のマイクロチャネル5a,5bを前記メンブラン(ブリッジ)を経由して前記半導体基板に形成する。そして各マイクロチャネルにインレット6a,6bおよびアウトレット7a,7bを介して流体を通流させ、例えばその一方のチャネルに被検出流体とその反応試薬を混合して、他方のチャネルに上記被検出流体と上記反応試薬に変わるダミー流体とを混合して通流させてその温度を、特にその温度差を各薄膜温度センサを介して検出する。

請求項（抜粋）：

半導体基板に該半導体基板と熱的に絶縁して形成された薄膜状のメンブランまたはブリッジと、このメンブランまたはブリッジに設けられた複数の薄膜温度センサと、前記メンブランまたはブリッジを経由して前記半導体基板に形成されて前記各薄膜温度センサ上にそれぞれ流体を導く複数のマイクロチャネルと、これらのマイクロチャネルにそれぞれ流体を通流させる為のインレットおよびアウトレットとを具備したことを特徴とする反応熱検出器。

IPC (3件)：

G01K 13/02 ,  G01K 7/18 ,  G01K 13/12

FI (3件)：

G01K 13/02 ,  G01K 7/18 B ,  G01K 13/12