検査条件判定プログラムと検査装置と検査システム

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-132260
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329608
出願日： 2002年05月08日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は、半導体集積回路など複数の製品を1枚の基板で同時に形成して製造する製品の検査装置や検査システムに備わる計算機で実行し、検査装置の検査条件が適切な状態か否かを判定する。【解決手段】欠陥座標データ入力処理11で欠陥座標データを入力し、欠陥数と第1のしきい値による条件分岐12を行う。欠陥数が第1のしきい値より大きい場合には、チップ内領域別欠陥数計算処理13、分散計算処理14を行った後、分散と第2のしきい値による条件分岐15を行う。分散が第2のしきい値より大きい場合は、警告処理16を行う。一方、欠陥数が第1のしきい値以下の場合には、警告処理17を行う。

請求項（抜粋）：

被検査対象の有する異物ないしはパターン欠陥の位置を検出する検査装置の検査条件を管理するために実行するプログラムにおいて、該検査装置が、被検査対象の有する異物ないしはパターン欠陥として検出したものの座標データを入力する座標入力処理と、該座標入力処理で、入力された該座標データから、チップ内の欠陥密度分布のばらつきを定量化するチップ内欠陥密度分布計算処理と、該チップ内欠陥密度分布計算処理で、定量化した値と予め定められたしきい値とを比較し、検査装置の検査条件の良否を判定する良否判定処理とを実行することを特徴とする検査条件判定プログラム。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G06T 1/00 305 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/956 A , G06T 1/00 305 A , H01L 21/66 J , H01L 21/66 Z

Fターム (20件)：

2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051EA12 , 2G051EA21 , 2G051EB02 , 2G051EB03 , 2G051EC02 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106CA38 , 4M106DB30 , 5B057AA03 , 5B057BA30 , 5B057CA12 , 5B057CB12 , 5B057CH01 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DA16

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