特許
J-GLOBAL ID：200903002249040647
静電容量の変化を利用した物理量の検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181678
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346356
出願日： 1992年06月16日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 堅牢で、かつ温度特性の良好な力検出装置を提供する。【構成】 変位体10は、装置筐体としての固定体20内に収容され、作用点Pに外力が作用すると、変位体10が内部で変位する。変位体10および固定体20は金属よりなる。固定体20の内面には、固定電極B1,B2,B4が形成され、これら固定電極と変位体10の対向面とで、それぞれ容量素子が形成される。この容量素子の静電容量の変化に基づいて、点Pに作用した力が検出される。固定電極B1は、中間層I1a,I1bを介して固定体20内に形成されている。中間層I1aを42-合金、I1bをガラスエポキシ樹脂で構成し、固定体20をアルミニウムで構成すれば、中間層I1a,I1b全体の熱膨張率は、固定体20の熱膨張率と同じになり、容量素子の容量値が温度に左右されるのを防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
外力の作用を受けて変位を生じる変位体と、前記変位体を支持する可撓部を有し、前記変位体の少なくとも一部分を収容する筐体としての機能をもった固定体と、前記変位体の前記固定体内に収容されている部分にある一部分面上に固着された変位電極と、前記変位電極に対向し、前記固定体の内側の一部分面上に固着された固定電極と、前記変位電極と前記固定電極との間の距離の変化を、両電極間の静電容量の変化として検出する検出手段と、を備え、前記変位体に作用した外力を前記検出手段によって検出する検出装置において、前記固定体を金属によって構成し、この金属面上に中間層を介して前記固定電極を形成するようにし、前記中間層を、前記金属の熱膨張率よりも大きな熱膨張率を有する第1の材質からなる第1の層と、前記金属の熱膨張率よりも小さな熱膨張率を有する第2の材質からなる第2の層と、の少なくとも2層によって構成し、かつ、前記第1の材質および前記第2の材質の少なくとも一方を絶縁性材料によって構成したことを特徴とする静電容量の変化を利用した物理量の検出装置。
IPC (4件)：
G01L 1/14
, G01L 5/16
, G01P 15/125
, G01R 27/26
