特許

J-GLOBAL ID：200903002254423872

割り出し角度検査装置及び同装置による角度検査方法

発明者： 松本 孝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144988
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312550
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 高分割された割り出し角度を簡単かつ高精度に検定する。【構成】 多面鏡20を基準回転多面体22と、基準回転多面体22の回転軸23に同軸的に嵌合され基準回転多面体22の鏡面数と異なる鏡面数を有する補助回転多面体24とで構成する。さらにオートコリメータ2の対物レンズ4の前方にオートコリメータ2で視準する鏡面を基準回転多面体22と補助回転多面体24との間で切り替える光学ユニット6を配置する。

請求項（抜粋）：

被検ロータリテーブル外に設けられたオートコリメータにより被検ロータリテーブル上に載置された多面鏡を視準して割り出し角度を測定する割り出し角度検査装置において、前記多面鏡は、基準回転多面体と、該基準回転多面体の中心軸線に関して同軸的に設置され前記基準回転多面体の鏡面数と異なる鏡面数を有する少なくとも1個の補助回転多面体とを備え、該多面鏡と前記オートコリメータとの間に前記オートコリメータで視準する鏡面を前記基準回転多面体と前記補助回転多面体との間で切り替える光軸切替手段が配置されたことを特徴とする割り出し角度検査装置。