特許
J-GLOBAL ID：200903002255657591
半導体製造装置の制御装置の制御方法及びその制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265535
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104805
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 2次系操作量の値から1次系操作量を適切な操作量に補正することで2次系操作量の安定化を図り、炉内における安定した温度制御特性が得られる半導体製造装置の制御装置の制御方法及びその制御装置を提供する。【構成】 カスケード制御系の半導体製造装置の制御装置において、PID2から出力された2次系操作量P2 が2次制御系の操作可能範囲内であるか否かを判定部6で判定し、範囲内である場合は2次系操作量P2 を算出する際の目標値となった1次系操作量P1 を適切な1次系操作量P1 ′としてメモリ5bに格納し、2次系操作量P2 が範囲外である場合は、適切な1次系操作量P1 ′を2次系目標値SV′としてメモリ5b部からPID2に出力する半導体製造装置の制御装置の制御方法及びその制御装置としている。
請求項（抜粋）：
炉内の温度を調整するヒータと、前記炉内の温度の目標値となる第1の目標値と前記炉内で測定された温度である第1の被制御量に基づいてPID演算を行い、第1の操作量を算出する第1の演算部を有する第1の制御系と、前記第1の演算部において算出された第1の操作量を第2の目標値とし、前記第2の目標値と前記ヒータの出力温度である第2の被制御量に基づいてPID演算を行い、第2の操作量を算出する第2の演算部を有する第2の制御系とがカスケード制御系に接続された半導体製造装置の制御装置の制御方法において、前記第2の演算部から出力された第2の操作量が予め設定された範囲内であるかどうか判定し、前記範囲外であれば前記第1の演算部から出力された第1の操作量に代えて前記範囲内であった時に記憶した適切な操作量を前記第2の制御系に出力することを特徴とする半導体製造装置の制御装置の制御方法。
IPC (5件)：
G05B 11/32
, G05D 23/19
, H01L 21/02
, H01L 21/22 501
, H05B 3/00
