特許
J-GLOBAL ID:200903002259941812
積層ノズルプレート、液滴吐出ヘッド、及び、積層ノズルプレート製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-044337
公開番号(公開出願番号):特開2006-224624
出願日: 2005年02月21日
公開日(公表日): 2006年08月31日
要約:
【課題】 ノズル周辺に付着した液体や異物を容易に除去できると共に液滴のノズルへの流れがスムーズな積層ノズルプレート、及びこの積層ノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッドを提供すると共に、保護プレートの段差孔、ノズルプレートのノズル、及び、連通孔プレートの連通孔を、高精度に位置合わせすることの可能な積層ノズルプレートの製造方法を提供する。【解決手段】 ノズルプレート14の一の面にプールプレート16を接合すると共に、ノズルプレート14の他の面に保護プレート12を接合し、その後、プールプレート16に連通孔24を形成すると共に、保護プレート12に段差孔22を形成する。そして、ノズルプレート14にノズル20を形成する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
液滴を吐出するノズルの形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートに積層され、前記ノズルと連通される連通孔の形成された連通孔プレートと、
前記ノズルプレートを挟んで前記連通孔プレートと逆側に積層され、前記ノズルよりも大きい開口で前記ノズルを外部と連通させる段差孔の形成された保護プレートと、
を備え、
前記保護プレートの厚み方向に形成される前記段差孔の側壁の傾斜、及び、前記連通孔プレートの厚み方向に形成される前記連通孔の側壁の傾斜が、前記ノズルプレートへ近づくにしたがって小さくなる構成とされていることを特徴とする積層ノズルプレート。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (13件):
2C057AF61
, 2C057AF93
, 2C057AG04
, 2C057AG07
, 2C057AG12
, 2C057AG33
, 2C057AP13
, 2C057AP23
, 2C057AP27
, 2C057AP31
, 2C057AP57
, 2C057AP60
, 2C057AQ03
引用特許:
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