特許
J-GLOBAL ID：200903002270596892
非接触変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062304
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261731
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 被測定試料が変位計測方向と直交する横方向に移動等をしても、その影響を受けにくく、基準パターンの更新を行うことなく計測を継続することのできる、スペックルパターンを利用した非接触変位計を提供する。【構成】 測定対象面Sからの散乱光を受光するイメージセンサ2を、変位計測方向Xに直交し、かつ、面Sに略平行な方向Yに振動させることで、Y方向に振動振幅分だけ広がりを持つ領域からの散乱光を受光し、測定対象面SのY方向への移動がスペックルパターンの相互相関関数のピーク強度の低下に及ぼす影響を少なくする。
請求項（抜粋）：
試料の測定対象面にレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、そのレーザ光の測定対象面からの散乱光を受光するイメージセンサと、そのイメージセンサからの出力を用いて、散乱光に含まれるスペックルパターンの刻々の移動量を算出することにより、試料の変位情報を得る演算手段を備えた変位計において、上記イメージセンサを、計測すべき変位方向に直交し、かつ、測定対象面に略平行な方向に振動させるセンサ駆動機構を備えていることを特徴とする非接触変位計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/16 G
, G01B 11/00 G
