特許
J-GLOBAL ID：200903002272598116
ウエーハの分割方法および分割装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-291083
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108273
出願日： 2004年10月04日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられたウエーハを、分割予定ラインに沿って正確且つ確実に分割することができるウエーハの分割方法および分割装置を提供する。【解決手段】 表面に格子状に形成された複数の分割予定ライン101に沿って強度が低下せしめられているウエーハ10を、分割予定ライン101に沿って分割するウエーハの分割方法であって、ウエーハ10の一方の面に保護テープ16を貼着するテープ貼着工程と、保護テープ16が貼着されたウエーハ10を分割予定ライン101の両側で保護テープ16を介して保持するウエーハ保持工程と、保護テープ16を介して保持されたウエーハ10を分割予定ライン101に沿って吸引することにより、ウエーハ10を分割予定ライン101に沿って破断する破断工程とを含む。【選択図】 図14
請求項（抜粋）：
表面に格子状に形成された複数の分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられているウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割方法であって、
ウエーハの一方の面に保護テープを貼着するテープ貼着工程と、
該保護テープが貼着されたウエーハを該分割予定ラインの両側で該保護テープを介して保持するウエーハ保持工程と、
該保護テープを介して保持されたウエーハを該分割予定ラインに沿って吸引することにより、ウエーハを該分割予定ラインに沿って破断する破断工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの分割方法。
IPC (1件)：
FI (4件)：
H01L21/78 A
, H01L21/78 T
, H01L21/78 W
, H01L21/78 Q
