特許
J-GLOBAL ID：200903002278250596
X線分光器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-222838
公開番号（公開出願番号）：特開2008-047451
出願日： 2006年08月18日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【課題】本発明はX線分光器に関し、遮蔽板の調整を確実かつ正確に行なうことができるX線分光器を提供することを目的としている。【解決手段】電子顕微鏡に搭載されたX線分光器であって、試料から発生した特性X線を回折格子7に導き、該回折格子7で分光したX線の強さを検出してX線分析を行なうX線分光器3において、X線分光器3内に入射される分光X線の内、0次光X線12を遮蔽する0次光遮蔽板13と、該0次光遮蔽板13をX線検出器5のX線分光方向に移動する移動機構と、該移動機構にX線分光器内の真空状態を保持するための保持手段を設けて構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡に搭載されたX線分光器であって、試料から発生した特性X線を回折格子に導き、該回折格子で分光したX線の強さを検出してX線分析を行なうX線分光器において、
X線分光器内に入射される分光X線の内、0次光X線を遮蔽する0次光遮蔽板と、
該0次光遮蔽板をX線検出器のX線分光方向に移動する移動機構と、
該移動機構にX線分光器内の真空状態を保持するための保持手段を設けたことを特徴とするX線分光器。
IPC (2件)：
H01J 37/252
, G01N 23/225
H01J37/252 A
, G01N23/225
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001BA07
, 2G001BA11
, 2G001BA30
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001CA10
, 2G001DA03
, 2G001DA08
, 2G001EA01
, 2G001EA20
, 2G001KA01
, 2G001PA07
, 5C033PP04
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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