特許

J-GLOBAL ID：200903002287173642

(1,2-ナフトキノン 2-ジアジド)スルホン酸のエステルを含む放射感応性組成物およびそれを使用して製造した放射感応性記録材料

発明者： ウオルフガング、ツアーン ,  ハンス-ヨアヒム、メレム ,  フリツツ、エルトマン ,  アクセル、シユミツト
出願人/特許権者： ヘキスト・アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087276
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119475
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】水に不溶であるが、水性アルカリ溶液に可溶である、または少なくとも膨潤し得る重合体結合剤、および少くも1つの放射感応性化合物を含む放射感応性組成物およびそれを使用して製造した放射感応性記録材料を提供する。【構成】(1,2-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-および/または-5-スルホン酸で完全にエステル化したジヒドロキシベンゾフェノン、または(1,2-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-および/または-5-スルホン酸で部分的に、または完全にエステル化したトリヒドロキシベンゾフェノンを含み、エステル化した2,3,4,4' -テトラヒドロキシベンゾフェノンの、エステル化したジ-またはトリヒドロキシベンゾフェノンに対する重量比が4:6〜7:3であり、エステル化したヒドロキシベンゾフェノンが、全体として、その組成物中に含まれる固体の総重量に対して5〜40重量%の比率で存在することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

水に不溶であるが、水性アルカリ溶液に可溶であるかまたは少なくとも膨潤し得る重合体結合剤、および(1,2-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-および/または-5-スルホン酸により部分的にエステル化した2,3,4,4' -テトラヒドロキシベンゾフェノンを含む放射感応性組成物であって、さらに、(1,2-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-および/または-5-スルホン酸で完全にエステル化したジヒドロキシベンゾフェノン、または(1,2-ナフトキノン 2-ジアジド)-4-および/または-5-スルホン酸で部分的に、または完全にエステル化したトリヒドロキシベンゾフェノンを含み、エステル化した2,3,4,4' -テトラヒドロキシベンゾフェノンの、エステル化したジ-またはトリヒドロキシベンゾフェノンに対する重量比が4:6〜7:3であり、エステル化したヒドロキシベンゾフェノンが、全体として、その組成物中に含まれる固体の総重量に対して5〜40重量%の比率で存在することを特徴とする、放射感応性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/00 503 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-109051
  
• 特開昭53-073767
  
• 特開昭63-311350