特許

J-GLOBAL ID：200903002289296687

微量ガス濃度計測システム

発明者： 内田 裕 ,  坂野 美菜
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-281372
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083939
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】 試料中に数多くの物質が含まれているときでも、濃度計測対象物質のみを正確に励起状態にさせて、励起状態にされた濃度計測対象物質を確実に電離させ、濃度を計測する。【解決手段】 真空容器3内に試料ガスを噴射させて、熱膨張させ、試料ガスの内部エネルギーを極めて低い状態にしつつ、濃度計測対象物質の電子励起エネルギーに正確に合致した波長“λUV”の色素レーザー光と、励起状態になっている濃度計測対象物質を電離させてイオン化させる波長“4ω”のレーザー光とを1本のビームにして、真空容器3の窓6から真空容器3内に入射させ、試料ガスに含まれている濃度計測対象物質をイオン化させる。

請求項（抜粋）：

濃度計測対象物質の電子励起エネルギーに合致した波長の励起光と励起された前記濃度計測対象物質を電離させるレーザー光とを生成する励起光発生装置と、この励起光発生装置から出射される励起光及びレーザー光を用いて、真空容器内に導入された試料中の前記濃度計測対象物質を励起、電離化させて、そのイオン強度を計測する試料分析装置と、予め設定されているイオン強度/濃度変換式を用いて、前記試料ガス分析装置の計測結果を前記濃度計測対象物質の濃度に変換する濃度演算装置と、を備えたことを特徴とする微量ガス濃度計測システム。