特許
J-GLOBAL ID：200903002291642363
シャワーノズル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-001892
公開番号（公開出願番号）：特開平5-184977
出願日： 1992年01月09日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】【構成】本発明のシャワーノズルは、中空円錐体をなすガス案内部と、このガス案内部の径小側端部に同軸に連結された中空円筒状のガス導入部と、ガス案内部の径大側端部に同軸に連結されたガス噴射部と、このガス噴射部の裏面側中央に同軸に固定された紡錘状のガス分散部とからなり、かつ、ガス案内部内周面のテーパ角を、ガス導入部から導入されてきたガスを、ガス分散部とガス案内部により絞り込むような角度に設定したものである。【効果】このような本発明のシャワーノズルは、シャワーノズル内部におけるガスのうず発生を防止することができる。その結果、うず発生に基因するガスの不活性化がなくなり、かつ、ガス噴射部におけるガスの垂直方向の速度分布が均一化する。したがって、この実施例のシャワーノズルをプラズマエッチング装置に組み込んだ場合、基板上でのエッチング反応速度が均一化し、歩留向上に寄与することができる。
請求項（抜粋）：
中空円錐体をなし径小側端部から径大側端部にガスを案内するガス案内部と、このガス案内部の径小側端部に連結され上記ガスを上記ガス案内部に導入する中空円筒状のガス導入部と、ガス案内部の径大側端部に同軸に連結され上記ガスを噴出する複数の噴気孔が穿設されたガス噴射部と、上記ガス案内部により形成された空間中央部に同軸に配設され上記ガス導入部により導入されたガスを遠心方向に分散させる紡錘状のガス分散部とを具備し、上記ガス案内部の内周面は、径小側よりも径大側の方が拡径率が大きく設けられていることを特徴とするシャワーノズル。
IPC (3件)：
B05B 1/14
, B01J 4/00 102
, H01L 21/302
