球面形状測定装置および球面形状測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：野田雅士 , 杉本修司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-046997
公開番号（公開出願番号）：特開2009-204440
出願日： 2008年02月28日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：

【課題】非接触で球面形状を高精度に測定できる球面形状測定装置および球面形状測定方法を提供する。【解決手段】軸部1bの一端に球面形状部1aを有する被測定物1を、被測定物支持手段10により軸部1bの中心軸回りに回転させる。球面形状部1aの表面位置を非接触で測定する非接触変位計31を、その中心軸上の所定位置を回動中心として軸部1bの中心軸を含む平面内で、変位計回動手段32により回動させる。被接触変位計31の軸方向位置は軸方向位置調整手段41で調整する。これにより、被測定物1を回転させながら、その軸部1bの中心軸を含む平面内で前記球面形状部1aの中心を回動中心として非接触変位計31を回動させて、球面形状部1aの球面形状測定を行う。【選択図】図1

請求項１：

軸部の一端に球面形状部を有する被測定物を、前記軸部の中心軸回りに回転自在に支持する被測定物支持手段と、前記被測定物をその軸部の中心軸回りに回転させる被測定物回転手段と、前記球面形状部の表面位置を非接触で測定する非接触変位計、およびこの非接触変位計の中心軸上の所定位置を回動中心として非接触変位計を前記被測定物の軸部の中心軸を含む平面内で回動させる変位計回動手段を有する球面形状測定手段と、前記非接触変位計を少なくともその軸方向に位置調整する位置調整手段とを備えた球面形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/20 , G01B 21/10

FI (2件)：

G01B21/20 C , G01B21/10

Fターム (13件)：

2F069AA66 , 2F069CC08 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069HH09 , 2F069JJ10 , 2F069JJ17 , 2F069JJ19 , 2F069MM02 , 2F069MM04 , 2F069MM23 , 2F069MM26

引用特許：

出願人引用 (4件)

非球面形状測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-080043 出願人：株式会社ナノ
三次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-040736 出願人：株式会社ニコン
回転工具の形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-017013 出願人：株式会社ミツトヨ

全件表示

審査官引用 (4件)

三次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-040736 出願人：株式会社ニコン
回転工具の形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-017013 出願人：株式会社ミツトヨ
非球面形状測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-080043 出願人：株式会社ナノ

全件表示

前のページに戻る