特許
J-GLOBAL ID：200903002292794507
被測定ディバイスの温度制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-337343
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188295
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 DUTの内部温度(チップ表面温度)を確実に設定温度にできる温度制御装置(サーモストリーマ)を提供する。【構成】 コンプレッサ2で発生する冷風をファン3でDUT1に送って、このDUT1を冷却する。DUT1の内部に温度センサ6を配設し、その検出出力をDC測定部7に供給してDC値を測定し、そのDC値のデータをデータ処理部8で温度データに変換して温度コントローラ5に供給する。コントローラ5は、温度データに基づき、DUT1の内部温度が設定温度となるように、コンプレッサ2で発生する冷風の温度を制御する。DUT1の内部温度、従ってチップ表面温度が確実に設定温度となるため、DUT1の低温評価を正確に行い得る。
請求項（抜粋）：
被測定ディバイスの内部に配設された温度センサと、この温度センサの直流信号を温度情報に変換する変換手段と、上記被測定ディバイスに冷風または温風を送る送風手段と、この送風手段より送られる冷風または温風の温度を上記変換手段の出力に基づいて制御する温度コントローラとを備えたことを特徴とする被測定ディバイスの温度制御装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01K 13/02
, G05D 23/20
, H01L 23/34
