特許

J-GLOBAL ID：200903002296872391

走査電子顕微鏡用90°変換試料台

発明者： 雪田 憲史 ,  伊東 祐博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122008
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319362
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】集束イオンビーム加工観察装置で加工したのち、走査電子顕微鏡で観察をする場合、試料を貼り替えるかまたは試料台を固定するための専用ホルダを必要としていた。【解決手段】走査電子顕微鏡と集束イオンビーム加工観察装置の試料台を兼用とし、加工表面と断面の双方向を観察できる形状とした。【効果】試料台を兼用することにより、試料の貼り替えを無くし、試料交換時間を減少させ作業効率を向上することができる。

請求項（抜粋）：

走査電子顕微鏡による試料観察装置と集束イオンビーム加工観察装置に兼用で使用できる試料台。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/317

FI (3件)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/317 D

Fターム (9件)：

5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5C033FF10 ,  5C033JJ07 ,  5C033MM07 ,  5C033UU03 ,  5C034DD09