特許

J-GLOBAL ID：200903002297746900

横型気相成長方法

発明者： 土屋 忠厳 ,  坂口 春典 ,  和田 次郎
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116367
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306845
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】予備成長の際、不必要な原料ガスを流さないようにして原料の節約を図る。【解決手段】円形横型の気相成長炉1において、予備成長時に際して、ガス吹出し口3の構造を変えることによって、成長炉1内の基板6をセットした領域Aにだけ原料ガス2を流し、基板6の存在しない領域Bには原料ガス2を供給しないようにする。

請求項（抜粋）：

円形横型の気相成長炉で、円の中心に原料ガスの吹出し口、円周部に複数の排気口を備え、かつ上記吹出し口の周囲に複数枚の基板を配して多数枚同時成長を可能とした成長炉において、成長させようとする基板の存在する方向だけに限って原料ガスを吹出すようにした横型気相成長方法。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  C30B 29/40 502 ,  C30B 25/14

FI (3件)：

H01L 21/205 ,  C30B 29/40 502 D ,  C30B 25/14