特許

J-GLOBAL ID：200903002303488977

焦点位置検出機構及びそれを備えた露光装置

発明者： 徳田 憲昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-147549
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340128
出願日： 1998年05月28日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】 投影光学系の焦点位置の検出に用いられる2つのパターンの像の干渉によるモアレ現象の影響を低減し、より精確な焦点位置の検出を可能に焦点位置検出機構及びそれを備えた露光装置を提供する。【解決手段】 所定の長さの遮光部SPsと透光部SPtとを接合した基本単位を、その遮光部SPs同士、透光部SPt同士が連続するように複数連結して形成する。前記基本単位は、遮光部SPs、透光部SPtともに直線状の直線単位と、遮光部SPs、透光部SPtのいずれかに屈曲部を有する屈曲単位とから構成する。ここで、直線単位同士が連結される確率を高く、屈曲単位の屈曲方向はランダムに設定する。このように発生された基本パターンを、所定角度回転した4つのタイルT1〜T4を貼り合わせてセンサパターンSPを形成し、AFセンサの基準位置の決定に用いる。

請求項（抜粋）：

第1面上の第1パターンの像を投影光学系を介して第2パターンが形成された第2面上に投影し、その投影像の前記第2面からの反射光を前記投影光学系を介して前記第1面に形成された受光部に入射させ、同受光部で検出された前記反射光に関する情報に基づいて、前記投影光学系の焦点位置を検出するようにした焦点位置検出機構において、前記第1パターン及び第2パターンの少なくとも一方を所定の不規則性パターンで構成した焦点位置検出機構。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/30 526 A ,  G01B 11/00 A ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/02 B