特許

J-GLOBAL ID：200903002306742777

走査型露光装置および露光方法

発明者： 川原 信途 ,  富田 孝史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210305
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029223
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 露光走査回数を増やすことなく周辺露光を可能にする。【解決手段】 スリット状または矩形状の光束を射出する照明光学系を備え、該スリット状または矩形状光束によりパターン領域と周辺露光領域を有する原板を介して感光基板を照明しながら該スリット状または矩形状光束下を該光束と相対的に該原板と感光基板を同期して走査して、該原板のパターン像を該感光基板上に転写する際、1回の露光走査における露光量を前記パターン領域と周辺露光領域とで異ならせる。

請求項（抜粋）：

スリット状または矩形状の光束を射出する照明光学系を備え、該スリット状または矩形状光束によりパターン領域と周辺露光領域を有する原板を介して感光基板を照明しながら該スリット状または矩形状光束下を該光束と相対的に該原板と感光基板を同期して走査して、該原板のパターン像を該感光基板上に転写する走査型露光装置において、1回の露光走査における露光量を前記パターン領域と周辺露光領域とで異ならせることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 577

Fターム (14件)：

2H097AA05 ,  2H097AB09 ,  2H097BB01 ,  2H097FA03 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB23 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046DA02 ,  5F046DA12 ,  5F046DA30