特許
J-GLOBAL ID:200903002310365856

QCMセンサー用圧電振動子の実装構造

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-247646
公開番号(公開出願番号):特開2005-121632
出願日: 2004年08月27日
公開日(公表日): 2005年05月12日
要約:
【課題】従来のQCMセンサーの構造では、圧電振動子の外周部分に封止材を塗布しており、封止材が自然に濡れ広がることにより塗布領域が圧電振動子の中心部分に向かって広がってしまう。また、封止材が濡れ広がる面積は封止材の粘度や圧電振動子の濡れ性によって変化してしまい圧電振動子の良好な特性を得ることができなかった。【解決手段】本発明のQCMセンサー用圧電振動子の実装構造は、基板上または圧電振動子上に凸部または凹部を設けておくことにより圧電振動子外周部分に封止材を塗布した際に封止材が圧電振動子と基板との隙間に流れ込む領域を制限することが可能な構造となっている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
圧電振動子を基板上に搭載し、前記圧電振動子の外周部と前記基板の間を封止材によって封止したQCMセンサー用圧電振動子の実装構造において、 前記基板は前記圧電振動子を搭載する領域に凸部または凹部を有し、該凸部または該凹部によって前記圧電振動子と前記基板との隙間に流れ込む前記封止材の塗布領域を制限することを特徴とするQCMセンサー用圧電振動子の実装構造。
IPC (1件):
G01N5/02
FI (1件):
G01N5/02 A
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 水晶発振子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-335723   出願人:株式会社イニシアム

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