特許

J-GLOBAL ID：200903002311301975

塗布装置

発明者： 村上 慎一郎 ,  竹本 潤 ,  中島 泰秀 ,  宮川 俊二 ,  村山 圭司
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 米田 潤三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-345155
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155269
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 コーティング液の物性に左右されることなく枚葉基板に対して平滑でかつ均一なコーティング膜を形成でき、単位時間当たりの処理枚数を増加させるコーティング装置を提供する。【解決手段】 トラック形状に形成された一対のガイドレール15A,15Bが、コーティングヘッド30の上方に、互に対向されかつ直線部が傾斜した状態に配置され、基板保持部H1およびH2が、ガイドレール15A,15B間に、それぞれ両端部をスライド自在に支持されることによって取り付けられ、ガイドレールの下側の直線部に位置する基板保持部に係脱自在に連結されるスライド体18Aと18Bがガイドレールの直線部と平行方向にスライド自在に設けられ、ガイドレールの直線部の端部に位置する基板保持部にそれぞれ係脱自在に連結される一対の連結ハンド22A,22Bが回転自在に設けられている。

請求項（抜粋）：

上方に向って開口するとともに水平方向に延びる帯状のスリットを有する塗布ヘッドと、この塗布ヘッドの上方を斜め上向きに移動するとともに基板を保持してこの基板の塗布を行う面を塗布ヘッドに対向させながら搬送する基板保持部とを備え、この基板保持部が基板を保持して移動する際に塗布ヘッドに塗布液を供給し、塗布ヘッドと基板との間に塗布ヘッドのスリットから吐出される塗布液によってビードを形成し、基板の移動にともなってビードから基板の塗布を行う面に塗布液を層状に付着させることによって基板への塗布液の塗布を行う塗布装置において、上下位置において互に平行に延びる一対の直線部およびこの一対の直線部の両端部をそれぞれ連結する円弧状の一対のコーナ部によってトラック形状に形成された一対のガイドレールが、前記塗布ヘッドの上方に、それぞれのトラック面が鉛直に向いた状態で互に対向されかつ直線部が塗布ヘッドのスリットの延びる方向と直角方向に延びかつ傾斜した状態に配置され、複数の前記基板保持部が、一対のガイドレール間に、それぞれ両端部をスライド自在に支持されることによって、塗布液の塗布を行う基板をガイドレールの外側に向けて着脱自在に保持する状態に取り付けられ、ガイドレールの下側の直線部に位置する基板保持部に係脱自在に連結される第1スライド体がガイドレールの直線部と平行方向にスライド自在に設けられ、ガイドレールの上側の直線部に位置する基板保持部に係脱自在に連結される第2スライド体がガイドレールの直線部と平行方向にスライド自在に設けられ、ガイドレールの両側のコーナ部にそれぞれ配置されガイドレールの直線部の端部に位置する基板保持部に係脱自在に連結される一対の連結部材がガイドレールのそれぞれのコーナ部の中心軸を中心に回転自在に設けられていることを特徴とする塗布装置。